Радиочастотное магнетронное распыление представляет собой физическое осаждение из паровой фазы.
который использует радиочастотную энергию для генерации плазмы между мишенью и подложкой для достижения осаждения тонкой пленки.
Наша компания
технология планарной дуги, в сочетании с радиочастотой
технология магнетронного распыления, широко используется при изготовлении полупроводников, оптоэлектронных устройств и различных
поверхностные покрытия. Он стал одной из важных технологий изготовления тонких пленок благодаря своим многочисленным преимуществам, таким как низкая температура осаждения, высокая скорость осаждения, хорошая однородность осаждаемых тонких пленок и состав, близкий к составу целевого материала.