Принцип работы машины для нанесения покрытий серии PVD 3D в основном основан на технологии физического осаждения из паровой фазы (PVD), которая представляет собой технологию, которая использует физические методы для преобразования твердых материалов (мишеней) в газообразные атомы, молекулы или ионы в вакуумной среде и их осаждения. на поверхности подложки с образованием тонкой пленки. Технология PVD включает в себя два основных процесса: испарение и напыление, оба из которых выполняются в условиях высокого вакуума для обеспечения чистоты и адгезии пленки. Процесс испарения: твердые материалы нагреваются источником тепла для их сублимации в газообразное состояние, а затем наносятся на поверхность подложки в вакуумной камере с образованием тонкой пленки. В этом методе может использоваться электронный луч или резистивный нагрев для нагрева целевого материала до тех пор, пока он не испарится, а испаренные атомы или молекулы не будут осаждены на подложку в вакууме. Процесс распыления: твердый материал распыляется с поверхности целевого материала с помощью ионной бомбардировки или инертного газа, а затем наносится на поверхность подложки. Напыление покрытия — это процесс нанесения твердых материалов на поверхность подложки с помощью ионной бомбардировки в вакуумной среде с образованием тонкой пленки.
